Nadine Millot, Omar Elkedim, Rabah Hamzaoui, S. Tria, Frédéric Bernard, Olivier Rapaud, X. Guo, Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST), Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Université de Franche-Comté (UFC), Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire d'Études et de Recherches sur les Matériaux, les Procédés et les Surfaces (IRTES - LERMPS), Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Institut de Recherche sur les Transports, l'Energie et la Société - IRTES, Laboratoire Interdisciplinaire Carnot de Bourgogne (LICB), Université de Bourgogne (UB)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire LERMPS (LERMPS), Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM), Techniques de l'Informatique et de la Microélectronique pour l'Architecture des systèmes intégrés (TIMA), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire de Recherche sur la Réactivité des Solides (LRRS), Université de Franche-Comté (UFC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM), Université Paris-Est - Institut de recherche en constructibilité, ESTP, Centre de Recherche en Acquisition et Traitement de l'Image pour la Santé (CREATIS), Université Jean Monnet [Saint-Étienne] (UJM)-Hospices Civils de Lyon (HCL)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL), Université de Lyon-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National de la Santé et de la Recherche Médicale (INSERM), Techniques of Informatics and Microelectronics for integrated systems Architecture (TIMA), Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies ( FEMTO-ST ), Université de Technologie de Belfort-Montbeliard ( UTBM ) -Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques ( ENSMM ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) -Université de Franche-Comté ( UFC ), Centre de Recherche en Acquisition et Traitement de l'Image pour la Santé ( CREATIS ), Hospices Civils de Lyon ( HCL ) -Université Jean Monnet [Saint-Étienne] ( UJM ) -Institut National de la Santé et de la Recherche Médicale ( INSERM ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) -Université Claude Bernard Lyon 1 ( UCBL ), Université de Lyon-Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon ( INSA Lyon ), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées ( INSA ) -Institut National des Sciences Appliquées ( INSA ), Techniques of Informatics and Microelectronics for integrated systems Architecture ( TIMA ), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 ( UJF ) -Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology ( Grenoble INP ) -Institut National Polytechnique de Grenoble ( INPG ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) -Université Grenoble Alpes ( UGA ), Laboratoire de Recherche sur la Réactivité des Solides ( LRRS ), Université de Bourgogne ( UB ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ), Laboratoire LERMPS ( LERMPS ), and Université de Technologie de Belfort-Montbeliard ( UTBM )
International audience; Binary 50Ni–50Ti mixture was prepared by mechanical alloying from elemental powders. After 48 h of milling, the nanocrystalline B2-NiTi powder was produced. Then, this as-milled powder was deposited by cold spraying in order to produce a target which can be used to create thin films by magnetron sputtering technique. The objective is to improve the electrical characterizations of the NiTi/SiO2/Si M.O.S structures. Themorphology evolution of the powder particles, the phase identification and the alloying evolution process as function of milling time were studied using scanning electron microscopy, X-ray diffraction and transmission electron microscopy. In addition, the target was also characterized using X-ray diffraction, Scanning electron microscopy, and microhardness measurements. The milling of powders leads to the formation of disorderednanocrystalline B2-NiTi with a crystallite size of about 12 nm and a microstrain of level 2.10%, after 48 h of milling. The microstructure, the composition and grain size of the milled powders for 24 h and 48 h characterized by TEM are heterogeneous. The as-deposited intermetallic NiTi can be retained in the coating with a lattice parameter of 0.3 nm, crystallite size of 14 nm, microstrain and high microhardness of 2% and 694Hv0.25, respectively.