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LAFONTAINE, M. DE, Ayari, F., Pargon, E., Gay, G., Petit-Etienne, C., Barnes, J-P., Rochat, N., Turala, A., JAOUAD, A., VOLATIER, M., FAFARD, S., Aimez, V., Darnon, Maxime, Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes [Sherbrooke] (LN2), Université de Sherbrooke (UdeS)-École Centrale de Lyon (ECL), Université de Lyon-Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique [Sherbrooke] (3IT), and Université de Sherbrooke (UdeS)

Cunge, G., Maxime Darnon, Brihoum, M., Despiau-Pujo, E., Davydova, A., Brichon, P., Blanc, R., Haass, M., Camille Petit-Etienne, Pargon, E., Joubert, O., Sadeghi, N., St Braithwaite, N., Gahan, D., Banna, S., Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), impedans Ltd (Impedans), Applied Materials, Santa Clara, Darnon, Maxime, and Clot, Marielle

Banna, S., Agarwal, A., Lill, T., Cunge, G., Darnon, Maxime, Pargon, E., Joubert, O., Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), and Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Joubert, O., Pargon, E., Chevolleau, T., Cunge, G., Vallier, L., David, T., Barnola, S., Lill, T., Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés (SIMaP), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), and Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Joubert, O., Pargon, E., Cunge, G., Chevolleau, T., Pelissier, B., Vallier, L., Sidor, F., Thiault, J., Ramos, R., Luere, O., Sungauer, E., Martin, M., Mellhaoui, X., Barnola, S., Foucher, J., Morel, T., Lill, T., Patterson, A., Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), and Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)