1. The equilibrium gap method with modeling parameters: identifiability conditions and sensitivity
- Author
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Amiot, Fabien, Hild, François, Roger, Jean Paul, Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST), Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Franche-Comté (UFC), Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC), Laboratoire de Mécanique et Technologie (LMT), École normale supérieure - Cachan (ENS Cachan)-Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (UPMC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire Photons Et Matière, Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (UPMC)-Ecole Superieure de Physique et de Chimie Industrielles de la Ville de Paris (ESPCI Paris), Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Université de Franche-Comté (UFC), and Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
- Subjects
MEMS ,Identification problem ,Inverse problem ,[PHYS.MECA.SOLID]Physics [physics]/Mechanics [physics]/Solid mechanics [physics.class-ph] ,Full-field measurements ,[SPI.MECA.SOLID]Engineering Sciences [physics]/Mechanics [physics.med-ph]/Solid mechanics [physics.class-ph] - Abstract
The use of a Nomarski shear-interferometer with a sinusoidal phase modulation and four integrating buckets allows one to obtain the displacement field of the surface of a micro-cantilever observed in reflection microscopy. One can apply an electrostatic loading to this micro-object, which is first represented as an unknown pressure field. When retrieving both the flexural stiffness field and the load field using the equilibrium gap method, one may model the applied loading as a pure pressure field. This paper intends first to assess the effect of a modeling error, and then to test the identifiability conditions if one uses a parameterized description of the loading to fit measured kinematic data. The influence of the measurement noise on the identified parameters is then semi-analytically derived, and the global identification algorithm is applied to experimental data.
- Published
- 2008