1. X-ray multilayer monochromator with enhanced performance
- Author
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Françoise Bridou, Christian Remond, Frank Delmotte, René Laval, Alain Raynal, Rabah Benbalagh, G. Soullié, Gwénaelle Julié, R. Barchewitz, Michel Fialin, Jean-Michel André, Alain Bosseboeuf, Marie-Françoise Ravet, Laboratoire de Chimie Physique - Matière et Rayonnement (LCPMR), Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (UPMC)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop, Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique (LCFIO), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut d'Optique Graduate School (IOGS)-Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut d'Optique Graduate School (IOGS)-Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11), Institut d'électronique fondamentale (IEF), Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), DAM Île-de-France (DAM/DIF), Direction des Applications Militaires (DAM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Laboratoire pour l'utilisation du rayonnement électromagnétique (LURE), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-MENRT-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire de Chimie Physique - Matière et Rayonnement ( LCPMR ), Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 ( UPMC ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ), Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique ( LCFIO ), Université Paris-Sud - Paris 11 ( UP11 ) -Institut d'Optique Graduate School ( IOGS ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) -Université Paris-Sud - Paris 11 ( UP11 ) -Institut d'Optique Graduate School ( IOGS ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ), Institut d'électronique fondamentale ( IEF ), Université Paris-Sud - Paris 11 ( UP11 ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ), DAM Île-de-France ( DAM/DIF ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives ( CEA ), Laboratoire pour l'utilisation du rayonnement électromagnétique ( LURE ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives ( CEA ) -MENRT-Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ), and Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)-Institut d'Optique Graduate School (IOGS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)-Institut d'Optique Graduate School (IOGS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
- Subjects
010302 applied physics ,[PHYS.PHYS.PHYS-OPTICS]Physics [physics]/Physics [physics]/Optics [physics.optics] ,Materials science ,[ PHYS.PHYS.PHYS-OPTICS ] Physics [physics]/Physics [physics]/Optics [physics.optics] ,business.industry ,Materials Science (miscellaneous) ,X-ray optics ,Grating ,01 natural sciences ,Industrial and Manufacturing Engineering ,Photon counting ,law.invention ,010309 optics ,Optics ,law ,0103 physical sciences ,Business and International Management ,Thin film ,Reactive-ion etching ,Photolithography ,business ,Diffraction grating ,Monochromator - Abstract
International audience; An x-ray multilayer monochromator with improved resolution and a low specular background is presented. The monochromator consists of a lamellar multilayer amplitude grating with appropriate parameters used at the zeroth diffraction order. The device is fabricated by means of combining deposition of thin films on a nanometer scale, UV lithography, and reactive ion etching. The performance of this new monochromator at photon energies near 1500 eV is shown.
- Published
- 2002
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