1. Формирование гладкого и микропористого подложечного материала на основе ZnO
- Author
-
Абубакар Магомедович Исмаилов and Арсен Эмирбегович Муслимов
- Subjects
оксид цинка ,горячая мишень ,магнетронное распыление ,микропористая структура ,подложки ,нитридные технологии ,Chemistry ,QD1-999 - Abstract
Исследовано влияние температуры осаждения на морфологию и структурно-фазовый состав подложечного материала на основе ZnO толщиной свыше 50 мкм при магнетронном распылении горячей керамической мишени. Показано принципиальное влияние температуры осаждения на скорость роста, морфологию и структурные параметры монокристаллического осадка ZnO. Продемонстрированы сверхвысокие (до 1.5 мкм/мин) скорости осаждения ZnO в режиме распыления горячей керамической мишени. Предложена методика формирования как гладкого, так и микропористого подложечного материала на основе ZnO без использования шаблонных технологий. Полученные в работе результаты могут найти широкое применение в оптоэлектронике и нитридных технологиях. more...
- Published
- 2024
- Full Text
- View/download PDF