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Zusammenfassung Aufgabe der Prozesskontrolle ist es, schnell und gezielt einzugreifen, wenn der festgelegte Toleranzkorridor überschritten wird. Gleichzeitig muss darauf geachtet werden, dass die Sensorik keine Funktionsflächen beschädigt. Daher bietet sich der Einsatz optischer Sensoren an, da diese berührungslos arbeiten. Dieser Beitrag befasst sich mit Konzepten zur fertigungsnahen Überwachung mittels optischer Sensoren, beschreibt deren Vor- und Nachteile und stellt beispielhafte Realisierungen vor.

Zusammenfassung Innerhalb automatisierter multiskaliger Messsysteme werden im Allgemeinen verschiedene Sensoren in verschiedenen Skalen zur Vermessung/Inspektion verwendet. Ausgehend von der niedrigstauflösenden Skale werden Indikationen für Defekte mittels Indikatoralgorithmen gefunden. Basierend auf diesen Defektindikationen werden Unterregionen für eine Vermessung mit höherer Auflösung spezifiziert. Dieser Vorgang wird iterativ bis zur klaren Defekterkennung durchgeführt. Grundlage einer entsprechenden Vorgehensweise ist die Verwendung zuverlässiger Indikatoralgorithmen. Entsprechende Algorithmen für die Vermessung von Mikrooptiken werden vorgestellt und hinsichtlich ihrer Zuverlässigkeit analysiert.

Die Zusammenführung von Messinformationen aus verschiedenen Verfahren ermöglicht eine einheitliche und umfassende Charakterisierung von 3D-Geometrien und deren Kenngrößen. Es werden Methoden zur Verarbeitung, Vereinigung und Auswertung von multimodalen und multiskaligen Messdaten vorgestellt und anhand beispielhafter Messungen konkretisiert. Ein eingesetzter Probenkörper, basierend auf einem Mikrolinsenarray, wird mittels taktiler, konfokaler, interferometrischer Verfahren sowie Röntgentomographie und Streulicht untersucht. Anhand der resultierenden Messdatensätze werden Rauheitsspektren berechnet und diese wiederum zu einem gemeinsamen Rauheitsspektrum des Probenkörpers fusioniert. Nach der Registrierung der Datensätze mittels einer Pyramidenstruktur und Referenzmarken wird ein multimodaler Vergleich der verwendeten Messgeräte möglich.