Verlässlichkeitsanalyse von Indikator-Funktionen in einem Automatisierten Multiskalen-Messsystem

Zusammenfassung Innerhalb automatisierter multiskaliger Messsysteme werden im Allgemeinen verschiedene Sensoren in verschiedenen Skalen zur Vermessung/Inspektion verwendet. Ausgehend von der niedrigstauflösenden Skale werden Indikationen für Defekte mittels Indikatoralgorithmen gefunden. Basierend auf diesen Defektindikationen werden Unterregionen für eine Vermessung mit höherer Auflösung spezifiziert. Dieser Vorgang wird iterativ bis zur klaren Defekterkennung durchgeführt. Grundlage einer entsprechenden Vorgehensweise ist die Verwendung zuverlässiger Indikatoralgorithmen. Entsprechende Algorithmen für die Vermessung von Mikrooptiken werden vorgestellt und hinsichtlich ihrer Zuverlässigkeit analysiert.