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1. Etude de la cinétique des espèces principales induites par un plasma N2/O2 dans un réacteur de dépôt de couches minces organosiliciés

Author

Annusova, Adriana, Foissac, Corinne, Veis, Pavel, Supiot, Philippe, Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), and Slovak Academy of Sciences (SAS)

Subjects
[SPI]Engineering Sciences [physics]
Published
2013

Catalog

Books, media, physical & digital resources
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