Etude de la cinétique des espèces principales induites par un plasma N2/O2 dans un réacteur de dépôt de couches minces organosiliciés

Authors :: Annusova, Adriana
Foissac, Corinne
Veis, Pavel
Supiot, Philippe
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN)
Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)
Slovak Academy of Sciences (SAS)
Source :: Journée UGéPE Nord Pas-de-Calais, Journée UGéPE Nord Pas-de-Calais, 2013, Villeneuve d'Ascq, France
Publication Year :: 2013
Publisher :: HAL CCSD, 2013.

Language :: French
Database :: OpenAIRE
Journal :: Journée UGéPE Nord Pas-de-Calais, Journée UGéPE Nord Pas-de-Calais, 2013, Villeneuve d'Ascq, France
Accession number :: edsair.dedup.wf.001..61c77e6d3eca67f858d5271b781d6cc7

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