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Heteroepitaxy of 3C-SiC/Si on deeply patterned substrates
- Authors :
- Bergamaschini, R
Albani, M
Scalise, E
Acciarri, M
Marzegalli, A
Montalenti, F
Miglio, L
MIglio, L
Bergamaschini, R
Albani, M
Scalise, E
Acciarri, M
Marzegalli, A
Montalenti, F
Miglio, L
MIglio, L
- Publication Year :
- 2020
Details
- Database :
- OAIster
- Notes :
- English
- Publication Type :
- Electronic Resource
- Accession number :
- edsoai.on1311397998
- Document Type :
- Electronic Resource