Testování MEMS gyroskopů

Tato diplomová práce se zabývá teoretickými poznatky o konstrukcích a parametrech MEMS gyroskopů. Dále je prezentován navržený měřicí řetězec pro testování MEMS gyroskopů ve společnosti Honeywell International s.r.o. a to zejména s použitím systémů: Polytec MSA-500, goniometrických plošin a kontroléru od firmy Standa a kontroléru pro řízení Peltierových článků. Praktická část diplomové práce obsahuje popis navrženého kontroléru pro řízení teploty testovaného zařízení a také popis aplikace v prostředí LabVIEW („Measurement systém“), která se používá pro řízení pozice dvou goniometrických plošin a pro řízení Peltierových článků. Tento systém je schopen plně řídit pozici goniometrických plošin, zarovnat povrch testovaného zařízení do ideálně kolmé pozice vůči optické hlavě analyzátoru Polytec MSA-500 a také kontrolovat teplotu testovaného zařízení. Závěrečná část diplomové práce je věnována testům základních parametrů MEMS gyroskopů se zaměřením na závislost tzv. Angle Random Walk a offsetu MEMS gyroskopu na kvalitě vakua v prostředí struktury.
This diploma thesis presents theoretical information regarding MEMS gyroscopes their parameters and designs. The description of measurement chain be used for testing of MEMS gyroscopes in Honeywell International s.r.o. is presented. Special focus is devoted to: the Polytec MSA-500 system, the Standa goniometers and their controller, Peltier cell and its driver. The practical part of this thesis contains the description of the thermal control system and also the description of the developed “Measurement system” in the LabVIEW software which is used for controlling the goniometers position and the Peltier cell. The system is able to fully control two goniometer stages, align the surface of tested MEMS device to orthogonal position with respect to the Polytec MSA-500 measurement head and also control the temperature of the tested device. The last part of this thesis presents the tests of the MEMS gyroscope parameters with special focus to the MEMS gyroscope angle random walk and the bias dependence on the vacuum quality of the structure environment.