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Pt thermal atomic layer deposition for silicon x-ray micropore optics
- Authors :
- Takeuchi, Kazuma
Ezoe, Yuichiro
Ishikawa, Kumi
Numazawa, Masaki
Terada, Masaru
Ishi, Daiki
Fujitani, Maiko
Sowa, Mark J.
Ohashi, Takaya
Mitsuda, Kazuhisa
武内, 数馬
江副, 祐一郎
石川, 久美
沼澤, 正樹
寺田, 優
伊師, 大貴
藤谷, 麻衣子
大橋, 隆也
満田, 和久
Takeuchi, Kazuma
Ezoe, Yuichiro
Ishikawa, Kumi
Numazawa, Masaki
Terada, Masaru
Ishi, Daiki
Fujitani, Maiko
Sowa, Mark J.
Ohashi, Takaya
Mitsuda, Kazuhisa
武内, 数馬
江副, 祐一郎
石川, 久美
沼澤, 正樹
寺田, 優
伊師, 大貴
藤谷, 麻衣子
大橋, 隆也
満田, 和久
- Publication Year :
- 2018
-
Abstract
- Accepted: 2018-03-20
Details
- Database :
- OAIster
- Notes :
- English
- Publication Type :
- Electronic Resource
- Accession number :
- edsoai.on1049570460
- Document Type :
- Electronic Resource