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Comparison of Radio Frequency Physical Vapor Deposition target material used for LaOx cap layer deposition in 32nm

Authors :
UMS 831 unité mixte de service (UMS 831) ; CNRS - Institut de recherche pour le développement [IRD] - CNES - INSU - Observatoire Midi-Pyrénées - Université Paul Sabatier (UPS) - Toulouse III
STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES) ; STMicroelectronics
Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés (SIMaP) ; Université Joseph Fourier - Grenoble I - Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG) - CNRS
Laboratoire des sciences et techniques de l'information, de la communication et de la connaissance (Lab-STICC) ; CNRS - Université de Bretagne Occidentale (UBO) - Université de Bretagne Sud (UBS) - Télécom Bretagne - Institut Supérieur des Sciences et Technologies de Brest (ISSTB) - Institut Mines-Télécom - PRES Université Européenne de Bretagne (UEB)
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC) ; Université de Savoie - Université Joseph Fourier - Grenoble I - Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG) - CNRS
Baudot, S.
Caubet, P.
Grégoire, M.
A. Bianchi, R.
Pantel, R.
Zoll, S.
Gros-Jean, M.
Boujamaa, R.
Normandon, P.
Leroux, C.
Ghibaudo, G.
UMS 831 unité mixte de service (UMS 831) ; CNRS - Institut de recherche pour le développement [IRD] - CNES - INSU - Observatoire Midi-Pyrénées - Université Paul Sabatier (UPS) - Toulouse III
STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES) ; STMicroelectronics
Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés (SIMaP) ; Université Joseph Fourier - Grenoble I - Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG) - CNRS
Laboratoire des sciences et techniques de l'information, de la communication et de la connaissance (Lab-STICC) ; CNRS - Université de Bretagne Occidentale (UBO) - Université de Bretagne Sud (UBS) - Télécom Bretagne - Institut Supérieur des Sciences et Technologies de Brest (ISSTB) - Institut Mines-Télécom - PRES Université Européenne de Bretagne (UEB)
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC) ; Université de Savoie - Université Joseph Fourier - Grenoble I - Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG) - CNRS
Baudot, S.
Caubet, P.
Grégoire, M.
A. Bianchi, R.
Pantel, R.
Zoll, S.
Gros-Jean, M.
Boujamaa, R.
Normandon, P.
Leroux, C.
Ghibaudo, G.
Source :
Int. Conf. materials for advanced metallization, MAM 2010; Int. Conf. materials for advanced metallization, MAM 2010, Dec 2009, Malines, Belgium

Abstract

International audience

Details

Database :
OAIster
Journal :
Int. Conf. materials for advanced metallization, MAM 2010; Int. Conf. materials for advanced metallization, MAM 2010, Dec 2009, Malines, Belgium
Notes :
Malines, Belgium, Int. Conf. materials for advanced metallization, MAM 2010, English
Publication Type :
Electronic Resource
Accession number :
edsoai.ocn893170414
Document Type :
Electronic Resource