OBTENCIÓN DE RECUBRIMIENTOS COMPUESTOS DE HfN/HfO2 DUROS Y TRANSPARENTES POR SPUTTERING Y TRATAMIENTOS TÉRMICOS

Se sintetizaron recubrimientos de HfN sobre vidrio Corning por la técnica de erosión catódica. Se realizaron tratamientos térmicos post-depósito a 300 °C, 400 °C y 500 °C para obtener recubrimientos compuestos de HfN/HfO2, y analizar cambios en la dureza y transmitancia en función de su microestructura. Los recubrimientos se caracterizaron por DRX, MEB-EC, EED, dureza Vickers y UV-vis. DRX mostró que los tratamientos térmicos cambian las fases en los recubrimientos, logrando obtener el recubrimiento compuesto de HfN/HfO2 para los tratamientos térmicos de 400 °C y 500 °C. Por MEB-EC se corroboraron los resultados de DRX mostrando cambios morfológicos con el aumento de la temperatura. La dureza Vickers y el porcentaje de transmitancia aumentaron conforme la temperatura aumentó, logrando alcanzar valores máximos de 22 GPa y 71 %, respectivamente. La tenacidad a la fractura disminuye con el aumento de temperatura, pero el band gap se mantiene constante en 4.17 eV.