SnO2 karbonmonoksit gaz sensörlerinin üretimi ve elektriksel karakterizasyonu

Bu çalışmada saf ve katkılı SnO2 malzemeleri döndürmeli kaplama sistemi yardımıyla cam alttaşlar üzerine hazırlanmıştır. Hazırlanan örneklerin CO gazına duyarlılığının araştırılabilmesi amacıyla deneysel bir düzenek kurulmuştur. CO gaz miktarı kontrol edilebilen bir ortamdaki saf ve katkılı SnO2 malzemelerin hassasiyet ve tepkisüresi tespit edilmiştir. Çalışmanın ikinci kısmında ise Ag/SnO2/p?Si aygıt yapısının elektronik aygıt parametrelerinin CO gazına duyarlılığı araştırılmıştır. Aygıtın akım gerilim karakteristiklerinin ve aygıt parametrelerinin ortamdaki gaz miktarı ile değişim gösterdiği tespit edilmiştir.Yapılan ölçümler sonucunda hazırlanan malzeme ve eklem yapının ortamdaki CO gaz sensörü olarak kullanılabileceği sonucuna varılmıştır. In this study, pure and doped SnO2 materials were prepared on glass substrates by using spin coating system. Gas sensitivities of the prepared materials and devices are measured using a home made experimental set-up. Sensitvity and response time values of the materials are tested in the closed and gas controllable media.Investigation of Ag/SnO2/p?Si device parameters in the different amounth of CO gas constitutes second section of this study. Current-voltage characteristics and device parameters were changed with the amount of CO gas. It is concluded that prepared materials and device structure are convenient for detection of CO gas. 90