Modélisation, fabrication et caractérisation expérimentale de réseaux MEMS faiblement couplés pour la détection de masse

Authors :: RABENIMANANA, Toky Harrison
Joseph Lardies
Vincent Walter
Najib Kacem
Skandar Basrour [Président]
Sébastien Hentz [Rapporteur]
Claude-Henri Lamarque [Rapporteur]
Jérôme Juillard

Subjects :: Localisation de modes
Défauts de fabrication
MEMS
Non-Linéarités électrostatique
Détecteur de masse
Gamme dynamique
Couplage mécanique

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