Metodo per la fabbricazione di dispositivi a stato solido mediante deposizione di membrane di silicio

Authors :: DI FRANCIA G.
IADONISI G
LA FERRARA V.
LANCELLOTTI L.
MADDALENA, PASQUALINO
QUERCIA L.
ROCA F.
SBERVEGLIERI G.
VITIELLO R.
NINNO, DOMENICO
DI FRANCIA, G.
Iadonisi, G
LA FERRARA, V.
Lancellotti, L.
Maddalena, Pasqualino
Ninno, Domenico
Quercia, L.
Roca, F.
Sberveglieri, G.
Vitiello, R.
Publication Year :: 1999
Publisher :: country:ITA, 1999.
Abstract: Si tratta di un metodo per la deposizione di membrane di allumina su silicio nanostrutturato. Il principio di funzionamento sfrutta la rugosità del film di silicio e le interazioni elettrostatiche.

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