Тензорезистивні властивості плівкових наносистем на основі пермалою та срібла як чутливих елементів тензодатчиків

Величина магнітоопору залежить від таких факторів як матеріал компонент плівкової системи, метод та умови отримання, процеси дифузії та фазоутворення, інтервал термовідпалювання та ін. Детальне дослідження тензорезистивного ефекту в плівкових наносистемах відкриває перспективу створення на їх основі не тільки тензорезисторів і тензодатчиків, а й багатофункціональних сенсорів для одночасного контролю декількох фізичних параметрів.