Спосіб отримання нітридних та/або карбонітридних зносо- та корозостійких покриттів

Спосіб отримання нітридних та/або карбонітридних зносо- та корозостійких покриттів включає розміщення у вакуумну камеру зразка, попередній розігрів зразка, напуск реактивного газу, створення газового розряду в газовій суміші для доставки реактивного газу на зразок, охолодження зразка. Як реактивний газ використовують азот, азотоводневу або карбідоазотну суміш. Створення газового розряду забезпечується поступовим збільшенням негативного потенціалу на зразку в межах від -3,5 кВ до -30 кВ протягом 20-30 хв. для забезпечення контрольованого подальшого розігріву зразка у межах від 300 до 570 °C.