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Diamantbeschichtung komplexer Geometrien - Hochskalierung des Heißdraht-CVD-Prozesses zur Diamantabscheidung

Authors :
Schäfer, L.
Bluhm, A.
Fryda, M.
Klages, C.-P.
Sattler, M.
Six, R.
Publica
Publication Year :
1994

Details

Language :
German
Database :
OpenAIRE
Accession number :
edsair.od.......610..3bca4308bf62ebfce5df33a7d3dee134

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