Films Minces BST: « Comportement à Hautes Fréquences »

Nous présentons une nouvelle méthode de caractérisation non destructive qui utilise une ligne coplanaire simple afin de mesurer la permittivité complexe des matériaux diélectriques et plus particulièrement celle des couches minces ferroélectriques sur une large gamme de fréquences pouvant aller jusqu'au millimétrique. Pour les mesures avec un champ appliqué, nous comparons les résultats obtenus à l'aide de plusieurs circuits hautes fréquences.