Recubrimientos nanocolumnares estructurados sobre sustratos rugosos y litografiados en condiciones industriales

En esta Tesis Doctoral Industrial se estudia la problemática del diseño de un sistema de deposición de pulverización catódica en geometría de ángulo oblicuo en escalas y condiciones industriales para operar sobre superficies rugosas de grado industrial. Esta técnica, de amplio uso, se suele utilizar para hacer recubrimientos de tipo compacto en su geometría clásica, mientras que su uso a ángulo oblicuo, responsable del crecimiento nanocolumnar, está restringido a laboratorios de investigación debido a las numerosas restricciones que impone dicha geometría de trabajo, e. g. inhomogeneidad de los recubrimientos, dificultad para producción en serie, imposibilidad de operar sobre grandes superficies, etc. En pequeñas superficies, los recubrimientos nanocolumnares son bien conocidos por poseer propiedades singulares asociadas a su baja densidad y a la alta superficie específica de las nanocolumnas. Es por esto que el desarrollo de esta técnica en escalas operativas industriales resulta clave para su incorporación en diferentes dispositivos tecnológicos y para el desarrollo de aplicaciones basadas en ellas...