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同軸型誘電体バリア放電を用いたマイクロプラズマとその大気圧薄膜堆積への応用に関する研究
- Publication Year :
- 2010
- Publisher :
- 京都大学 (Kyoto University), 2010.
- Subjects :
- 大気圧プラズマ
プラズマジェット
ミリ波透過特性診断法
化学気相堆積法
マイクロプラズマ
Subjects
Details
- Language :
- English
- Database :
- OpenAIRE
- Accession number :
- edsair.jairo.........fd771c3f9d98b0b027d1b9ad002f5366