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Evaluation of Surface Roughness for Silicon Substrate by Ellipsometry

Source :
愛知教育大学研究報告. 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編. 51:45-52
Publication Year :
2002
Publisher :
愛知教育大学, 2002.

Subjects

Subjects :
Silicon
Anodic Oxidation
Ellipsometry
偏光解析
陽極酸化
シリコン
表面粗さ
Surface Roughness

Details

Language :
Japanese
ISSN :
13461818
Volume :
51
Database :
OpenAIRE
Journal :
愛知教育大学研究報告. 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編
Accession number :
edsair.jairo.........d84831b8dcb76443660d41a443ff7188

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