Three-dimensional Visualization of Lattice Defects by Electron Tomography

X線CT(computed tomography : コンピューター断層撮影法)の原理を透過電子顕微鏡(TEM: transmission electron microscope)に応用した電子線トモグラフィーは、物質のナノ構造を3次元で観察・解析する方法として、また、人間の直感に訴える新しいナノ構造可視化技術として、様々な材料への応用が進んできている。電子線トモグラフィーについては本誌で既に解説がなされており、本稿ではその後の進展として、結晶内部の格子欠陥を3次元可視化する取り組みを紹介する。