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Optimierung von Al2O3 -Isolationsschichten auf GaAs hergestellt mit Atomlagenabscheidung
- Authors :
- Susanne Brunner
- Source :
- No periodic title.
- Publication Year :
- 2012
Details
- Language :
- English
- Database :
- OpenAIRE
- Journal :
- No periodic title
- Accession number :
- edsair.erc...........3d9d115dbfd08419e973fe0584af23af