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Study of threshold voltage extraction from room temperature down to 4.2 K on 28 nm FD-SOI CMOS technology

Authors :
Quentin Berlingard
Jose Lugo-Alvarez
Maryline Bawedin
Lauriane Contamin
Philippe Galy
Silvano De Franceschi
Tristan Meunier
Maud Vinet
Fred Gaillard
Mikaël Cassé
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI)
Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA))
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC)
Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )
Université Grenoble Alpes (UGA)
STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES)
Laboratoire de Transport Electronique Quantique et Supraconductivité (LaTEQS)
PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS (PHELIQS)
Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG)
Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA))
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA))
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes (UGA)-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG)
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes (UGA)
Circuits électroniques quantiques Alpes (NEEL - QuantECA)
Institut Néel (NEEL)
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )
Université Grenoble Alpes (UGA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )
Source :
Solid-State Electronics, Solid-State Electronics, 2022, 194, pp.108325. ⟨10.1016/j.sse.2022.108325⟩
Publication Year :
2022
Publisher :
HAL CCSD, 2022.

Abstract

International audience

Details

Language :
English
ISSN :
00381101
Database :
OpenAIRE
Journal :
Solid-State Electronics, Solid-State Electronics, 2022, 194, pp.108325. ⟨10.1016/j.sse.2022.108325⟩
Accession number :
edsair.doi.dedup.....bd0b9435297a497a5f2fe67ac592ed20
Full Text :
https://doi.org/10.1016/j.sse.2022.108325⟩