Processos termicos rapidos RTO / RTA para fabricação de dispositivos MOS

Authors :: Cavarsan, Fabio Aparecido
Diniz, José Alexandre, 1964
Swart, Jacobus Willibrordus
Tatsch, Peter Jürgen
Hayashi, Marcelo Assaoka
Universidade Estadual de Campinas. Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação
Programa de Pós-Graduação em Engenharia Elétrica
UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
Source :: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP), Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP), instacron:UNICAMP
Publication Year :: 2021
Publisher :: Universidade Estadual de Campinas - Repositorio Institucional, 2021.
Abstract: Orientador: Jose Alexandre Diniz Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação Mestrado Microeletrônica e Optoeletrônica Mestre em Engenharia Elétrica

Subjects :: Filmes semicondutores
RTO
RTA
Semicondutores - Difusão
Transistores de efeito de campo
Oxide
Dielétricos
Semicondutores amorfos
Filmes finos - Propriedades elétricas
Ativation
Annealing

Database :: OpenAIRE
Journal :: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP), Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP), instacron:UNICAMP
Accession number :: edsair.doi.dedup.....af4358a1f76c8bff43651c0fa3db6811
Full Text :: https://doi.org/10.47749/t/unicamp.2005.400310