Onboard Electrochemical Fabrication of Microelectrodes for Micro EDM Milling

Authors :: Yasmina Layouni
Michel Cabrera
Arthur Benilov
Guillaume Girardin
V. Semet
Pierre Morin
École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)
Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL)
École Centrale de Lyon (ECL)
Université de Lyon-Université de Lyon-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL)
Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Source :: Micro and Nanosystems, Micro and Nanosystems, Bentham Science Publishers, 2011, 3 (3), pp.215-221. ⟨10.2174/1876402911103030215⟩
Publication Year :: 2011
Publisher :: Bentham Science Publishers Ltd., 2011.
Abstract: International audience

Subjects :: 010302 applied physics
Fabrication
Materials science
Nanotechnology
[PHYS.MECA]Physics [physics]/Mechanics [physics]
02 engineering and technology
Building and Construction
021001 nanoscience & nanotechnology
Electrochemistry
01 natural sciences
Microelectrode
0103 physical sciences
[CHIM]Chemical Sciences
0210 nano-technology
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