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Millimeter-sized particle sensor using a wide field of view monolithic lens assembly for light scattering analysis in Fourier domain

Authors :
Andrea Lovera
Salim Boutami
Gabriel Jobert
Christian Seassal
Daniele Braga
Cécile Jamois
Maryse Fournier
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI)
Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA))
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
INL - Nanophotonique (INL - Photonique)
Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL)
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-École Centrale de Lyon (ECL)
Université de Lyon-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL)
Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)
Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information (CEA-LETI)
Université Grenoble Alpes (UGA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA))
École Centrale de Lyon (ECL)
Université de Lyon-Université de Lyon-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL)
Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Centrale de Lyon (ECL)
FEMTOprint
SPIE
INL - Ingénierie et conversion de lumière (i-Lum) (INL - I-Lum)
Université de Lyon-École Supérieure de Chimie Physique Électronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Source :
SPIE OPTO 2020, SPIE OPTO 2020, Feb 2020, San Francisco, United States. ⟨10.1117/12.2544185⟩, Photonics West 2020, Photonics West 2020, SPIE, Feb 2020, San Francisco, United States. ⟨10.1117/12.2544185⟩
Publication Year :
2020
Publisher :
HAL CCSD, 2020.

Abstract

International audience; We present our latest advances in the field of miniature optical particulate matter sensors. By illuminating a single particle in an air channel, one can record the light scattering signature with a CMOS image sensor and then classify particles. This signature is optically pre-processed with an advanced, millimeter-sized, monolithic, refracto-reflective optical system. It performs notably a Fourier transform with very wide field of view of scattering angles, and includes as well integrated fluidics and alignment. Functional prototypes were fabricated using laser micro machining on glass, selective polishing, and were replicated with epoxy resin using a molding process.

Details

Language :
English
Database :
OpenAIRE
Journal :
SPIE OPTO 2020, SPIE OPTO 2020, Feb 2020, San Francisco, United States. ⟨10.1117/12.2544185⟩, Photonics West 2020, Photonics West 2020, SPIE, Feb 2020, San Francisco, United States. ⟨10.1117/12.2544185⟩
Accession number :
edsair.doi.dedup.....8eba68d6d7b5bb9d514e5d12ba5493a8
Full Text :
https://doi.org/10.1117/12.2544185⟩