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Effect of die metallization layer ageing in the case of power semiconductor devices

Authors :
Sylvie Pommier
Emmanuel Cadel
Stéphane Lefebvre
Mounira Berkani
Sylvain Pietranico
Zoubir Khatir
Serge Bontemps
Laboratoire de Mécanique et Technologie (LMT)
École normale supérieure - Cachan (ENS Cachan)-Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (UPMC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Systèmes et Applications des Technologies de l'Information et de l'Energie (SATIE)
École normale supérieure - Cachan (ENS Cachan)-Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)-Institut Français des Sciences et Technologies des Transports, de l'Aménagement et des Réseaux (IFSTTAR)-École normale supérieure - Rennes (ENS Rennes)-Université de Cergy Pontoise (UCP)
Université Paris-Seine-Université Paris-Seine-Conservatoire National des Arts et Métiers [CNAM] (CNAM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
École normale supérieure - Cachan (ENS Cachan)
Laboratoire des Technologies Nouvelles (IFSTTAR/LTN)
Institut Français des Sciences et Technologies des Transports, de l'Aménagement et des Réseaux (IFSTTAR)
Microsemi, Power Module Products SAS
Groupe de physique des matériaux (GPM)
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie)
Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN)
Normandie Université (NU)
Université Paris-Seine-Université Paris-Seine-Conservatoire National des Arts et Métiers [CNAM] (CNAM)
HESAM Université - Communauté d'universités et d'établissements Hautes écoles Sorbonne Arts et métiers université (HESAM)-HESAM Université - Communauté d'universités et d'établissements Hautes écoles Sorbonne Arts et métiers université (HESAM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Université de Rouen Normandie (UNIROUEN)
Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie)
Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Recherche sur les Matériaux Avancés (IRMA)
Université de Caen Normandie (UNICAEN)
Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN)
Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN)
Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie)
Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Caen Normandie (UNICAEN)
Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN)
Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Source :
European Journal of Electrical Engineering, European Journal of Electrical Engineering, Lavoisier, 2011, 14 (5), pp.569-585. ⟨10.3166/Geo.19.11-38⟩, European Journal of Electrical Engineering, 2011, 14 (5), pp.569-585. ⟨10.3166/Geo.19.11-38⟩
Publication Year :
2011
Publisher :
International Information and Engineering Technology Association, 2011.

Abstract

The paper describes ageing mechanisms of the metallization layer deposited on the chips of power semiconductor devices, and the effects of its ageing on the electrical characteristics of a COOLMOSTM Transistor. We have tried to link the changes in electrical performances to the metallization degradation, in order to better understand the origin of the physical mechanisms of ageing and the effects of the degradation of the metallization layer on electrical performances of tested devices.

Details

ISSN :
21033641
Volume :
14
Database :
OpenAIRE
Journal :
European Journal of Electrical Engineering
Accession number :
edsair.doi.dedup.....6b5384ddfd347b8afffdd0f8612f9bca
Full Text :
https://doi.org/10.3166/ejee.14.569-585