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In situ study of self-assembled GaN nanowires nucleation on Si(111) by plasma-assisted molecular beam epitaxy

Authors :
Cédric Leclere
V. Cantelli
Hubert Renevier
Catherine Bougerol
Karine Hestroffer
Bruno Daudin
Service de Physique des Matériaux et Microstructures (SP2M - UMR 9002)
Institut Nanosciences et Cryogénie (INAC)
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])
Laboratoire des matériaux et du génie physique (LMGP )
Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Nanostructures et Rayonnement Synchrotron (NRS )
Modélisation et Exploration des Matériaux (MEM)
Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG)
Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA))
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA))
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG)
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])
Nanophysique et Semiconducteurs (NPSC)
Institut Néel (NEEL)
Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG)
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
Nanophysique et Semiconducteurs (NEEL - NPSC)
Source :
Applied Physics Letters, Applied Physics Letters, American Institute of Physics, 2012, 100, pp.212107. ⟨10.1063/1.4721521⟩, Applied Physics Letters, 2012, 100, pp.212107. ⟨10.1063/1.4721521⟩
Publication Year :
2012
Publisher :
HAL CCSD, 2012.

Abstract

International audience; Nucleation of GaN nanowires grown by plasma-assisted molecular beam epitaxy is studied through a combination of two in situ tools: grazing incidence x-ray diffraction and reflection high energy electron diffraction. Growth on bare Si(111) and on AlN/Si(111) is compared. A significantly larger delay at nucleation is observed for nanowires grown on bare Si(111). The difference in the nucleation delay is correlated to a dissimilarity of chemical reactivity between Al and Ga with nitrided Si(111).

Details

Language :
English
ISSN :
00036951
Database :
OpenAIRE
Journal :
Applied Physics Letters, Applied Physics Letters, American Institute of Physics, 2012, 100, pp.212107. ⟨10.1063/1.4721521⟩, Applied Physics Letters, 2012, 100, pp.212107. ⟨10.1063/1.4721521⟩
Accession number :
edsair.doi.dedup.....026b32992011672250047558a35947aa
Full Text :
https://doi.org/10.1063/1.4721521⟩