Fabricating and testing of Ф420 mm high-order aspheric lens

Authors :: 李文卿 Li Wen-qing
王永刚 Wang Yong-gang
孟晓辉 Meng Xiaohui
张继友 Zhang Ji-you
王聪 Wang Cong
Source :: Optics and Precision Engineering. 24:3068-3075
Publication Year :: 2016
Publisher :: Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, 2016.
Abstract: 介绍了 Ф 420 mm熔石英高次非球面透镜的加工与检测方法。对现有数控加工工艺进行了优化，通过分工序加工方式，依次采用机器人研磨、抛光和离子束修形技术完成了透镜的加工。进行非球面透镜检测时，考虑透镜的凹面为球面，利用球面波干涉仪对其面形进行了直接检测，剔除干涉仪标准镜镜头参考面误差后，透镜凹面的精度达到0.011λ-RMS；针对透镜的凸面为高次非球面，采用基于背后反射自准法的零位补偿技术对其进行面形检测，其精度达到0.013λ-RMS。最后，采用一块高精度标准球面镜对加工后透镜的透射波前进行了自消球差检测，得到其波前误差为0.013λ-RMS。试验结果表明，非球面透镜各项技术指标均满足设计要求。所述工艺方法亦适用于更大口径的非球面透镜及其他类型非球面光学元件的高精度加工.