Back to Search Start Over

Формирование цинксодержащих наночастиц в Si(001) методом ионной имплантации с последующим отжигом

Authors :
K. B. Eidelman
K. D. Shcherbachev
N. Yu. Tabachkova
V. V. Privezentsev
Source :
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. :31-36
Publication Year :
2016
Publisher :
Akademizdatcenter Nauka, 2016.

Subjects

Subjects :
Mechanical Engineering

Details

ISSN :
02073528
Database :
OpenAIRE
Journal :
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
Accession number :
edsair.doi...........e5ac5419606875ae061ab1072fcb67fc