Electrical Conductivity and Gas Response of Plasma-Polymerized Titanium Containing Organic Thin Films

チタニウムテトライソプロポキシド(TIPP)を出発物質として高い導電率を示すチタソ含有プラズマ重合膜を合成し,導電率の変化に基づくガスセソサーとしての機能につい七調べた。その結果,プラズマ重合によって合成したチタン含有有機薄膜は150～300℃ の温度範囲で,メタノール,エタノール,1-ブタノール,t-ブチルアルコール,アセトンなど,酸素と反応する有機可燃性ガスが存在すると,膜の漕電率が速やかに増大する現象を見いだし,これを利用すると導電率の増加により有機可燃性ガスを定量的に測定できることが明らかとなった。このセンサーの応答機構は膜表面の酸素の吸脱着により,導電率が変化するためであると考えられ,その機構について議論した。