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Acceleration Factors for Thin Oxide Breakdown

Authors :
David A. Baglee
Joe W. McPherson
Source :
Journal of The Electrochemical Society. 132:1903-1908
Publication Year :
1985
Publisher :
The Electrochemical Society, 1985.

Abstract

Analyse de donnees de disruption electrique en fonction du temps concernant des couches minces SiO 2 de 100 A d'epaisseur, en utilisant un modele d'Eyring

Details

ISSN :
19457111 and 00134651
Volume :
132
Database :
OpenAIRE
Journal :
Journal of The Electrochemical Society
Accession number :
edsair.doi...........804a6282069ffdad531b7e9a214d4e1b