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MÉTHODE D'ANALYSE DE GAZ EN AMONT ET EN AVAL DE RÉACTEURS DE MOVPE EN VUE DE LA MISE AU POINT DE PROCESS

Authors :
A. Mathieu
M. Stoehr
L. Giral
M. Maurin
J. M. Fabre
B. Cros
Source :
Le Journal de Physique Colloques. 50:C5-14
Publication Year :
1989
Publisher :
EDP Sciences, 1989.

Subjects

Subjects :
General Engineering

Details

ISSN :
04491947
Volume :
50
Database :
OpenAIRE
Journal :
Le Journal de Physique Colloques
Accession number :
edsair.doi...........0d733e7929795e2d341d6a83ba7d3e68
Full Text :
https://doi.org/10.1051/jphyscol:1989504