Characteristics of TiN thin films produced by dynamic mixing

Authors :: Tomo Baba
Masahiro Ishida
Shoji Isobe
Masakatsu Takemoto
Ichiro Takano
Source :: SHINKU. 30:304-306
Publication Year :: 1987
Publisher :: The Vacuum Society of Japan, 1987.
Abstract: イオンビームミキシング装置を用い, ダイナミックミキシング及びスタティックミキシングにより, SUS304の表面にTiN薄膜を生成した結果, 硬さ及び耐摩耗特性は向上することがわかった.特に, ダイナミックミキシングによって硬さは母材の約7倍にもなった.またダイナミックミキシソグにより, SUS304の表面に均一なTiN膜が生成でき, 短時間の処理によってその表面改質ができることがわかった.今後は, 蒸着速度やイオンの加速電圧, 注入量等を変化させ, さらに試料母材やイオンの種類を変えて他の方法との比較をする予定である.