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GaAs-ZnO acoustic microsensors: Focus on ZnO thin film characterization

Authors :
Chawich, J.
Bartasyte, A.
Elie-Caille, C.
Dubowski, J.J.
Leblois, T.
Laboratoire Nanotechnologies Nanosystèmes (LN2 )
Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-École Centrale de Lyon (ECL)
Université de Lyon-Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Sherbrooke (UdeS)-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique [Sherbrooke] (3IT)
Université de Sherbrooke (UdeS)
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST)
Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Université de Franche-Comté (UFC)
Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
LN2, UMI3463
Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Sherbrooke (UdeS)-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Laboratoire des matériaux et du génie physique (LMGP )
Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Génie Enzymatique et Cellulaire (GEC)
Université de Technologie de Compiègne (UTC)-Université de Picardie Jules Verne (UPJV)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Source :
1er Forum FrancoQuébécois d’Innovation en Santé, 1er Forum FrancoQuébécois d’Innovation en Santé, Oct 2016, Quebec city, Canada, 1er Forum Franco-Québécois d’Innovation en Santé, 1er Forum Franco-Québécois d’Innovation en Santé, Oct 2016, Quebec, Canada
Publication Year :
2016
Publisher :
HAL CCSD, 2016.

Abstract

International audience

Subjects

Subjects :
[SDV] Life Sciences [q-bio]
[SPI]Engineering Sciences [physics]
[SPI] Engineering Sciences [physics]
[SDV]Life Sciences [q-bio]
ComputingMilieux_MISCELLANEOUS

Details

Language :
English
Database :
OpenAIRE
Journal :
1er Forum FrancoQuébécois d’Innovation en Santé, 1er Forum FrancoQuébécois d’Innovation en Santé, Oct 2016, Quebec city, Canada, 1er Forum Franco-Québécois d’Innovation en Santé, 1er Forum Franco-Québécois d’Innovation en Santé, Oct 2016, Quebec, Canada
Accession number :
edsair.dedup.wf.001..ef59382aaaf2e65c05bd90537bbc17b8

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Authors Abstract Subjects Details