Nanoimprint lithography for three-dimensional nanopatterning

Authors :: Kehagias, N.
Reboud, V.
Chansin, G.
Zelsmann, M.
Jeppesen, C.
Schuster, C.
Kubenz, M.
Reuther, F.
Gruetzner, G.
Sotomayor Torres, C.M
Clot, Marielle
Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM)
Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Source :: Micro-and Nano-Engineering conference-MNE 2007, Micro-and Nano-Engineering conference-MNE 2007, 2007, copenhague, Denmark
Publication Year :: 2007
Publisher :: HAL CCSD, 2007.
Abstract: International audience

Language :: English
Database :: OpenAIRE
Journal :: Micro-and Nano-Engineering conference-MNE 2007, Micro-and Nano-Engineering conference-MNE 2007, 2007, copenhague, Denmark
Accession number :: edsair.dedup.wf.001..ec836ae935c9fe661a812ca1a8fad4ea

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