Back to Search Start Over

Deposition of doped and undoped HfO2 for fast and low energy consumption ferroelectric devices

Authors :
Bouaziz, Jordan
Vilquin, Bertrand
Rojo Romeo, Pedro
BABOUX, Nicolas
Masenelli, Bruno
INL - Spectroscopies et Nanomatériaux (INL - S&N)
Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL)
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Lyon-École Centrale de Lyon (ECL)
Université de Lyon-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL)
Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)
INL - Hétéroepitaxie et Nanostructures (INL - H&N)
INL - Nanophotonique (INL - Photonique)
INL - Dispositifs Electroniques (INL - DE)
École Centrale de Lyon (ECL)
Université de Lyon-Université de Lyon-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL)
Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Centrale de Lyon (ECL)
Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Bouaziz, Jordan
Université de Lyon-Université de Lyon-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL)
Université de Lyon-École Centrale de Lyon (ECL)
Université de Lyon
Source :
6th International Conference SENSO Workshop, 6th International Conference SENSO Workshop, Jun 2018, Gardanne, France
Publication Year :
2018
Publisher :
HAL CCSD, 2018.

Abstract

International audience

Subjects

Subjects :
[CHIM.MATE] Chemical Sciences/Material chemistry
[SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
[PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]
[CHIM.MATE]Chemical Sciences/Material chemistry
[SPI.MAT] Engineering Sciences [physics]/Materials
[SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
[PHYS.COND.CM-MS] Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]
ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
[SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials

Details

Language :
English
Database :
OpenAIRE
Journal :
6th International Conference SENSO Workshop, 6th International Conference SENSO Workshop, Jun 2018, Gardanne, France
Accession number :
edsair.dedup.wf.001..da5df0e7923f956797f72721205844ac

Tools

Authors Abstract Subjects Details