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Confined CVD Growth of Silicon Nanowires Array in Highly Organized Porous Alumina Template Made on <100> Silicon Substrate

Authors :
Gorisse, T.
Dupre, L.
Gentile, P.
Zelsmann, M.
Buttard, D.
Clot, Marielle
Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures (SiNaps)
PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS (PHELIQS)
Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG)
Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA))
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA))
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG)
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM)
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])
Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Source :
Materials Research Society conference-MRS 2013, Fall Meeting, Materials Research Society conference-MRS 2013, Fall Meeting, Sep 2013, Boston, United States
Publication Year :
2013
Publisher :
HAL CCSD, 2013.

Abstract

International audience

Subjects

Subjects :
[PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]
[PHYS.COND]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]
ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
[PHYS.COND] Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]
[PHYS.COND.CM-MS] Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]

Details

Language :
English
Database :
OpenAIRE
Journal :
Materials Research Society conference-MRS 2013, Fall Meeting, Materials Research Society conference-MRS 2013, Fall Meeting, Sep 2013, Boston, United States
Accession number :
edsair.dedup.wf.001..d9c70f6a352eb1a0beddef9998a00007

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