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Si nanocrystals embedded in an amorphous SiNx matrix: evidences of partial crystallization and limited phase separation after high temperature annealing

Authors :
Barbé, Jérémy
Makasheva, Kremena
Perraud, S.
Carrada, M.
Despax, Bernard
Sciences et Ingénierie des Plasmas Réactifs et des Arcs (LAPLACE-ScIPRA)
LAboratoire PLasma et Conversion d'Energie (LAPLACE)
Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3)
Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP)
Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3)
Université de Toulouse (UT)
Laboratoire d'Innovation pour les Technologies des Energies Nouvelles et les nanomatériaux (LITEN)
Institut National de L'Energie Solaire (INES)
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Matériaux et Procédés Plasmas (LAPLACE-MPP)
Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales (CEMES)
Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse)
Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut de Chimie de Toulouse (ICT)
Institut de Recherche pour le Développement (IRD)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3)
Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP)
Université de Toulouse (UT)-Institut de Recherche pour le Développement (IRD)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3)
Université de Toulouse (UT)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP)
Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Source :
2013 MRS Spring Meeting, San Francisco, CA, USA., 2013 MRS Spring Meeting, San Francisco, CA, USA., 2013, San Francisco, United States
Publication Year :
2013
Publisher :
HAL CCSD, 2013.

Abstract

International audience

Subjects

Subjects :
[SPI.TRON]Engineering Sciences [physics]/Electronics

Details

Language :
English
Database :
OpenAIRE
Journal :
2013 MRS Spring Meeting, San Francisco, CA, USA., 2013 MRS Spring Meeting, San Francisco, CA, USA., 2013, San Francisco, United States
Accession number :
edsair.dedup.wf.001..d5340d35abcabeff6ee9f14e0421b033

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Authors Abstract Subjects Details