Pulvérisation cathodique magnétron de Ni-Cr sur substrats cylindriques en céramique - Application à la fabrication de résistances étalons

Authors :: Lapostolle, F.
Lamy, S.
Bounouh, A.
Palmino, F.
Klein, D.
Coddet, C.
Laboratoire d'Études et de Recherches sur les Matériaux, les Procédés et les Surfaces (IRTES - LERMPS)
Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Institut de Recherche sur les Transports, l'Energie et la Société - IRTES
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST)
Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Université de Franche-Comté (UFC)
Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Source :: IEACM, IEACM, 2005, Nancy, France
Publication Year :: 2005
Publisher :: HAL CCSD, 2005.

Subjects :: [PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]

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