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Comparison between Sputtering and Atomic Layer Deposition of ferroelectric doped and undoped HfO2

Authors :
Bouaziz, Jordan
Vilquin, Bertrand
Rojo Romeo, Pedro
BABOUX, Nicolas
Masenelli, Bruno
Bouaziz, Jordan
INL - Spectroscopies et Nanomatériaux (INL - S&N)
Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL)
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Lyon-École Centrale de Lyon (ECL)
Université de Lyon-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL)
Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)
INL - Hétéroepitaxie et Nanostructures (INL - H&N)
INL - Nanophotonique (INL - Photonique)
INL - Dispositifs Electroniques (INL - DE)
École Centrale de Lyon (ECL)
Université de Lyon-Université de Lyon-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL)
Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Centrale de Lyon (ECL)
Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Université de Lyon-Université de Lyon-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL)
Université de Lyon-École Centrale de Lyon (ECL)
Université de Lyon
Source :
EMRS Spring Meeting 2017, EMRS Spring Meeting 2017, May 2017, Strasbourg, France
Publication Year :
2017
Publisher :
HAL CCSD, 2017.

Abstract

International audience

Subjects

Subjects :
[CHIM.MATE] Chemical Sciences/Material chemistry
[SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
[PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]
[CHIM.MATE]Chemical Sciences/Material chemistry
[SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
[SPI.MAT] Engineering Sciences [physics]/Materials
ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
[PHYS.COND.CM-MS] Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]
[SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials

Details

Language :
English
Database :
OpenAIRE
Journal :
EMRS Spring Meeting 2017, EMRS Spring Meeting 2017, May 2017, Strasbourg, France
Accession number :
edsair.dedup.wf.001..b7e517625e6c874a0668c1f72cfbe4f5

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Authors Abstract Subjects Details