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Towards epitaxial Pb(Zr0.52Ti0.48)O3/La2/3Sr1/3MnO3/SrTiO3 based resonant MEMS on Si

Authors :
Laryssa Carvalho de Araujo
Manguele, J.
Bertrand Vilquin
Zhe Wang
Carolina Adamo
Pedro Rojo Romeo
Christophe Cibert
Gilles Poullain
Bernadette Domengès
Victor Pierron
Schlom, Darrell G.
Laurence Méchin
Equipe Electronique - Laboratoire GREYC - UMR6072
Groupe de Recherche en Informatique, Image et Instrumentation de Caen (GREYC)
Université de Caen Normandie (UNICAEN)
Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN)
Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Caen Normandie (UNICAEN)
Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Laboratoire de cristallographie et sciences des matériaux (CRISMAT)
Normandie Université (NU)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Recherche sur les Matériaux Avancés (IRMA)
Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN)
Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie)
Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN)
Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
École Centrale de Lyon (ECL)
Université de Lyon
INL - Dispositifs Electroniques (INL - DE)
Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL)
Université de Lyon-Université de Lyon-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL)
Université de Lyon-École Supérieure de Chimie Physique Électronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Centrale de Lyon (ECL)
Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Cornell University [New York]
INL - Ingénierie et conversion de lumière (i-Lum) (INL - I-Lum)
Méchin, Laurence
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN)
Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-Université de Caen Normandie (UNICAEN)
Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN)
Normandie Université (NU)
École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN)
Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Caen Normandie (UNICAEN)
Normandie Université (NU)-Institut de Chimie du CNRS (INC)
Department of Materials Science and Engineering, Cornell University, USA
Source :
JMC 17 (17èmes journées de la matière condensée), Minicolloque 17: Oxydes Fonctionnels : des matériaux aux dispositifs, JMC 17 (17èmes journées de la matière condensée), Minicolloque 17: Oxydes Fonctionnels : des matériaux aux dispositifs, Aug 2021, ONLINE-Rennes, France. pp.1, HAL, JMC 17 (17èmes journées de la matière condensée), Minicolloque 17: Oxydes Fonctionnels : des matériaux aux dispositifs, Aug 2021, ONLINE-Rennes, France
Publication Year :
2021
Publisher :
HAL CCSD, 2021.

Abstract

National audience

Subjects

Subjects :
[SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
[SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
ComputingMilieux_MISCELLANEOUS

Details

Language :
English
Database :
OpenAIRE
Journal :
JMC 17 (17èmes journées de la matière condensée), Minicolloque 17: Oxydes Fonctionnels : des matériaux aux dispositifs, JMC 17 (17èmes journées de la matière condensée), Minicolloque 17: Oxydes Fonctionnels : des matériaux aux dispositifs, Aug 2021, ONLINE-Rennes, France. pp.1, HAL, JMC 17 (17èmes journées de la matière condensée), Minicolloque 17: Oxydes Fonctionnels : des matériaux aux dispositifs, Aug 2021, ONLINE-Rennes, France
Accession number :
edsair.dedup.wf.001..a5b3fccbb8f501c28f39dfaf166472a6

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Authors Abstract Subjects Details