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Three-dimensional writing inside silicon using a 2-µm picosecond fiber laser

Authors :
Chambonneau, M.
Lavoute, L.
Gaponov, D.
Castaing, M.
Fedorov, V. Y.
Ammar Hideur
Février, S.
Utéza, O.
David Grojo
Complexe de recherche interprofessionnel en aérothermochimie (CORIA)
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie)
Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN)
Normandie Université (NU)
Laboratoire Lasers, Plasmas et Procédés photoniques (LP3)
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Aix Marseille Université (AMU)
Université de Rouen Normandie (UNIROUEN)
Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie)
Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Aix Marseille Université (AMU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Grojo, David
Source :
Proceedings of ICALEO 2019, Proceedings of ICALEO 2019, 2019, Paper#142, HAL
Publication Year :
2019
Publisher :
HAL CCSD, 2019.

Abstract

International audience; Based on the development of a µJ-class Thulium-doped fiber laser operating in the picosecond regime at 1970-nm wavelength, we introduce a solution for three-dimensional (3D) laser writing technologies inside silicon (Si). We reveal that the nonlinear effects preventing from bulk modification in Si with femtosecond pulses persist in the picosecond regime. However, these are strongly reduced which makes possible to derive conditions for a demonstration of data inscription and reading deep into a Si wafer.

Details

Language :
English
Database :
OpenAIRE
Journal :
Proceedings of ICALEO 2019, Proceedings of ICALEO 2019, 2019, Paper#142, HAL
Accession number :
edsair.dedup.wf.001..9e0b313a10f41beb3f51035ef3414306