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Highly organized Porous Anodic Alumina by NanoImprint Lithography for the CVD Growth of Silicon Nanowires

Authors :
Gorisse, T.
Dupré, L.
Buttard, D.
Zelsmann, M.
Gentile, P.
Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures (SiNaps)
PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS (PHELIQS)
Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG)
Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA))
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA))
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG)
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])
Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM)
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Clot, Marielle
Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Source :
European Materials Research Society conference-E-MRS 2013, Spring Meeting, European Materials Research Society conference-E-MRS 2013, Spring Meeting, May 2013, Strasbourg, France
Publication Year :
2013
Publisher :
HAL CCSD, 2013.

Abstract

International audience

Subjects

Subjects :
[PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]
[PHYS.COND]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]
[PHYS.COND] Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]
[PHYS.COND.CM-MS] Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]
ComputingMilieux_MISCELLANEOUS

Details

Language :
English
Database :
OpenAIRE
Journal :
European Materials Research Society conference-E-MRS 2013, Spring Meeting, European Materials Research Society conference-E-MRS 2013, Spring Meeting, May 2013, Strasbourg, France
Accession number :
edsair.dedup.wf.001..9aaac3302d1c8863407b255c6c1d8177

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Authors Abstract Subjects Details