Back to Search Start Over

Influence of the electrode interface on the properties of ferroelectric HfZrO2

Authors :
Jordan Bouaziz
Greta Segantini
Benoît Manchon
Rabei Barhoumi
Ingrid Cañero Infante
Matthieu Bugnet
Damien Deleruyelle
Nicolas Baboux
Pedro Rojo Romeo
Sharath Sriram
Bertrand Vilquin
École Centrale de Lyon (ECL)
Université de Lyon
Royal Melbourne Institute of Technology University (RMIT University)
INL - Matériaux Fonctionnels et Nanostructures (INL - MFN)
Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL)
Université de Lyon-Université de Lyon-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL)
Université de Lyon-École Supérieure de Chimie Physique Électronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Centrale de Lyon (ECL)
Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
INL - Dispositifs Electroniques (INL - DE)
Matériaux, ingénierie et science [Villeurbanne] (MATEIS)
Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL)
Université de Lyon-Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
NamLab
European Project: 780302,EC | H2020 | RIA,3eFERRO(2018)
Vilquin, Bertrand
Energy Efficient Embedded Non-volatile Memory Logic based on Ferroelectric Hf(Zr)O2 - 3eFERRO - - EC | H2020 | RIA2018-01-01 - 2021-06-30 - 780302 - VALID
Source :
High k Workshop 2022, High k Workshop 2022, NamLab, Sep 2022, Dresden, Germany, HAL
Publication Year :
2022
Publisher :
HAL CCSD, 2022.

Abstract

International audience

Subjects

Subjects :
[CHIM.MATE] Chemical Sciences/Material chemistry
[SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
[PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]
[CHIM.MATE]Chemical Sciences/Material chemistry
[SPI.MAT] Engineering Sciences [physics]/Materials
[SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
[PHYS.COND.CM-MS] Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]
[SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials

Details

Language :
English
Database :
OpenAIRE
Journal :
High k Workshop 2022, High k Workshop 2022, NamLab, Sep 2022, Dresden, Germany, HAL
Accession number :
edsair.dedup.wf.001..9683b883a989f9332ed1bcf1dce587d6

Tools

Authors Abstract Subjects Details