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MEMS based nanofluidics device for the study of the nonlinear dynamics associate with the geochemical processes

Authors :
Kulsreshath, Mukesh
Stolz, Arnaud
Lefaucheux, Philippe
Mercury, Lionel
Dussart, Remi
Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés (GREMI)
Université d'Orléans (UO)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Institut des Sciences de la Terre d'Orléans - UMR7327 (ISTO)
Bureau de Recherches Géologiques et Minières (BRGM) (BRGM)-Observatoire des Sciences de l'Univers en région Centre (OSUC)
Institut national des sciences de l'Univers (INSU - CNRS)-Observatoire de Paris
Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université d'Orléans (UO)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut national des sciences de l'Univers (INSU - CNRS)-Observatoire de Paris
Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université d'Orléans (UO)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut national des sciences de l'Univers (INSU - CNRS)-Université d'Orléans (UO)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Biogéosystèmes Continentaux - UMR7327
Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université d'Orléans (UO)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut national des sciences de l'Univers (INSU - CNRS)-Université d'Orléans (UO)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Bureau de Recherches Géologiques et Minières (BRGM) (BRGM)-Observatoire des Sciences de l'Univers en région Centre (OSUC)
Source :
French symposium on Emerging Technologies for Micronanofabrication, French symposium on Emerging Technologies for Micronanofabrication, Nov 2019, Grenoble, France
Publication Year :
2019
Publisher :
HAL CCSD, 2019.

Abstract

International audience; To understand the evolution of man-impacted hydrosystems with the Earth Sciences, MEMS based nanofluidics devices were prepared. This paper presents the detailed different fabrication steps used for the preparation of successful nanofluidics devices.

Subjects

Subjects :
[SPI.PLASMA]Engineering Sciences [physics]/Plasmas
[SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics

Details

Language :
English
Database :
OpenAIRE
Journal :
French symposium on Emerging Technologies for Micronanofabrication, French symposium on Emerging Technologies for Micronanofabrication, Nov 2019, Grenoble, France
Accession number :
edsair.dedup.wf.001..95a06265d85107fd67a7af99b92bd9b5

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Authors Abstract Subjects Details